主要功能：協作型手臂自動取放CST並移載

客戶產品：Wafer、Glass CST

系統動作：

AMR自動移載 → 拿取CST → 放置指定下游設備

主要功能：檢測環境濕度、氣體、微粒子

工作區域：無塵室

系統動作：

設定區域內定時移動 → 檢測區域內環境 → 上傳相關數據