主要功能：膜厚量測

客戶產品：6"、8"、12" Wafer

系統動作：

人員放料 → Wafer移載 → 全區域量測 → 人員收料

主要功能：讀碼、移載

客戶產品：Wafer、Glass

系統動作：

機械手臂上游取料 → 機械手臂移載 → 工件定位 → 讀碼 → 放回CST

主要功能：雷射打標、清洗、堆疊

客戶產品：Wafer、Glass

系統動作：

機械手臂取產品 → 產品定位 → 雷射打標 → 讀碼 → 清洗 → 堆疊

主要功能：協作型手臂自動取放CST並移載

客戶產品：Wafer、Glass CST

系統動作：

AMR自動移載 → 拿取CST → 放置指定下游設備

主要功能：檢測環境濕度、氣體、微粒子

工作區域：無塵室

系統動作：

設定區域內定時移動 → 檢測區域內環境 → 上傳相關數據