氣浮平台

氣浮板為高分子聚合材二次排列而成，具有較佳的耐化性孔徑1um~120um皆可製作，可符合 Class 100 無塵室的使用環境。

氣浮板下方氣室經特殊流場設計，使氣流穩定輸出，降低紊亂氣離發生的機率。

氣浮板可分抗靜電型及一般型(依使用環境做選擇)。